光刻胶在平板显示面板制造中的应用

光刻胶在平板显示面板制造中的应用显示用光刻胶（FPD 光刻胶）是面板微图形转移的核心感光材料，以 i/g 线紫外曝光为主，用于把掩膜版上的像素、线路图形转移到玻璃基板；分为 TFT 阵列光刻胶、彩膜光刻胶、功能性透明光刻胶，贯穿 LCD、AMOLED 背板与彩膜制程，直接影响分辨率、对比度、色彩、盒厚均匀性与良率。一、TFT 阵列段（Array）光刻胶用于背板驱动电路成型，主流是正性光刻胶，LTPS / IGZO‑OLED 会配套专用负性光刻胶。栅极层：光刻胶做蚀刻掩膜，定义栅金属走线；有源层（a‑Si / IGZ...